铝酸镧晶体衬底基片-物美价廉“本信息长期有效”

铝酸镧（LaAlO3）单晶是当前***重要的工业化、大尺寸高温超导薄膜基片单晶材料。它用提拉法生长，可以得到直径2英吋及更大的单晶和基片。铝酸镧（LaAlO3）具有大的禁带宽度(5-6eV),高的介电常数值(~25)和很好的热稳定性使其成为替代Si基1金属-氧化物-半导体场效应晶体管中SiO2的***佳替代材料。

铝酸镧（LaAlO3）晶体的颜色与原料的纯度有着直接关系。若采用纯度≤99.9%原料或在生长过程中原料被污染,长出的晶体颜色较深,甚至是茶色。但采用高纯原料≥99.999%料时,长出的晶体呈浅***,且在真空气氛下退火,颜色更淡,近似白色。 铝酸镧（LaAlO3）晶体的着色主要是原料中的杂质所致,因此,我们在选择原料时采用高纯原料。另外剩余料要限制使用次数,且时刻注意避免原料的污染。

铝酸镧（LaAlO3）晶体在560℃附近要发生结构相变,从高温时的立方结构变为常温时的三方结构。有较低的介电损耗,与ZrO2、 SrTio3、蓝宝石等衬底材料相比,综合性能更为理想。是以一定化学配比的La2O3和A2O3为原料,在2100℃下用提拉法生长的,然后经标准工艺切割和抛光制成5×10m2的 LaAlo3晶片,晶向为[01].无退火的铝酸镧（LaAlO3）晶体呈淡***透明，在氧气氛下退火后呈棕色。

铝酸镧（LaAlO3）晶体的颜色与原料的纯度有着直接关系。若采用纯度≤99.9%原料或在生长过程中原料被污染,长出的晶体颜色较深,甚至是茶色。但采用高纯原料≥99.999%料时,长出的晶体呈浅***,且在真空气氛下退火,颜色更淡,近似白色。铝酸镧（LaAlO3）晶体在560℃附近要发生结构相变,从高温时的立方结构变为常温时的三方结构。由于相变的存在，LaALO3晶体中出现了复杂的畴结构，这种缺陷影响 LaAlO3晶格完整性和其作为衬底材料的性能。为了提髙此晶体的质量,人们进行着包括退火、掺杂等在内的各种探索。